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主要产品包括刻蚀机、PVD、CVD、ALD、清洗机、抛光机等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。
半导体全产业链设备
原子层沉积设备ALD
抛光机
单晶炉
晶片刷洗机
切割机
晶圆减薄机
光刻机
晶圆键合机
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